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Optimization of the Thermal Field of 8-Inch Sic Crystal Growth by Pvt Method with “3 Separation Heater Method”
用“三分加热法”优化PVT法生长8英寸SiC晶体的热场
相关领域
材料科学
热的
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领域(数学)
机械
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期刊: 作者:Binjie Xu; Xuefeng Han; Suocheng Xu; Deren Yang; Xiaodong Pi 出版日期:2023-01-01 |
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