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 Effect of germanium‐codoping on the grown‐in oxide precipitates in nitrogen‐doped Czochralski silicon 锗共掺杂对氮掺杂直拉硅中生长氧化物沉淀的影响
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期刊：Physica Status Solidi A-applications and Materials Science 作者：Wu Lan; Tong Zhao; Defan Wu; Deren Yang; Xiangyang Ma 出版日期：2021-12-09 |
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