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标题
Comparison of Al2O3nano-overlays deposited with magnetron sputtering and atomic layer deposition on optical fibers for sensing purposes
光纤传感用磁控溅射和原子层沉积Al2O3纳米覆盖层的比较
相关领域
材料科学 溅射沉积 原子层沉积 沉积(地质) 光纤 折射率 物理气相沉积 溅射 光电子学 图层(电子) 纤维 化学气相沉积 纳米- 氧化铝 薄膜 光学 纳米技术 复合材料 古生物学 物理 生物 沉积物
网址
DOI
10.1117/12.2033792 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者:Mateusz Śmietana; Tomasz Drążewski; Piotr Firek; Predrag Mikulic; Wojtek J. Bock
出版日期:2013-12-07
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