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Comparison of Al2O3nano-overlays deposited with magnetron sputtering and atomic layer deposition on optical fibers for sensing purposes
光纤传感用磁控溅射和原子层沉积Al2O3纳米覆盖层的比较
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期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者:Mateusz Śmietana; Tomasz Drążewski; Piotr Firek; Predrag Mikulic; Wojtek J. Bock 出版日期:2013-12-07 |
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