Synthesis of ALD Tungsten Trioxide Thin Films from W(CO)6 and H2O Precursors

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标题	Synthesis of ALD Tungsten Trioxide Thin Films from W(CO)6 and H2O Precursors W（CO）6和H2O前驱体合成ALD三氧化钨薄膜相关领域三氧化钨原子层沉积钨无定形固体材料科学单斜晶系退火（玻璃）薄膜氧化钨分析化学（期刊）化学工程结晶学纳米技术化学冶金晶体结构工程类色谱法
网址	https://doi.org/10.1149/06907.0199ecst
DOI	10.1149/06907.0199ecst doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Kai Zhang; Christopher McCleese; Pengtao Lin; Xin Chen; Mónica Morales; et al 出版日期：2015-09-10
求助人	闫伯涵在 2024-10-17 23:55:35 发布自吉林，悬赏 10 积分
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