发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
求助中
  • 文献求助详情
标题
EUV optical characterization of alternative membrane materials for EUV pellicles
用于EUV薄膜的替代膜材料的EUV光学表征
相关领域
极紫外光刻 透射率 材料科学 光学 膜 表征（材料科学） 平版印刷术 薄脆饼 极端紫外线 镜面反射 光刻 光掩模 光电子学 纳米技术 抵抗 化学 物理 激光器 生物化学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.2280553
AI链接 helmholtz-berlin.de gbv.dedoi.org
DOI
10.1117/12.2280553 doi
其它 期刊：
作者：Frank Scholze; Christian Laubis; Marina Y. Timmermans; Ivan Pollentier; Emily Gallagher; et al
出版日期：2017-10-16
求助人
英俊的不二 在 2025-01-06 16:07:47 发布自美国，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Quantitative measurement of EUV resist outgassing
  2. EUV mask process development and integration
  3. Extreme ultraviolet resist outgassing and its effect on nearby optics
  4. Defect avoidance for EUV photomask readiness at the 7 nm node
  5. An EUV photomask cleaning solution for the removal of tin contaminate
  6. Pulsed Plasma EUV Sources
  7. Optimasi UV-Photolithography Aligner dan Photomask Menggunakan Produk Komersial untuk Microfabricati...
  8. Characterizing Surface Roughness Using the Extreme Ultraviolet
  9. Optical Devices for Extreme Ultraviolet
  10. Towards ultimate image placement accuracy for EUV mask writing with pattern shift process
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 1天前

    英俊的不二 英俊的不二 求助人 Lv1 驳回了 劲秉 上传的文件

    说明
    这是目录，需要里面的内容

  • 1天前

    劲秉 劲秉 Lv12 上传了文件

    已驳回 1011797097.pdf (201.57 KB)

  • 1天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    16:07:49 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    16:07:48 科研通AI机器人（广州）收到请求，开始寻找文献
    16:07:48 已向机器人发送请求

  • 1天前

    英俊的不二 英俊的不二 求助人 Lv1 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
樱桃猴子的应助被andrele采纳，获得10
11秒前
茶茶完成签到，获得积分10
19秒前
33完成签到，获得积分10
21秒前
30秒前
34秒前
某某某发布了新的文献求助10
39秒前
1分钟前
1分钟前
丁牛青发布了新的文献求助10
1分钟前
风起云涌龙完成签到 ，获得积分0
1分钟前
1分钟前
英姑的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
SciGPT的应助被丁牛青采纳，获得10
1分钟前
光亮的自行车完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
某某某发布了新的文献求助10
1分钟前
英姑的应助被Kevin采纳，获得30
2分钟前
慕青的应助被用眼睛吃饭的人采纳，获得10
2分钟前
2分钟前
平常从蓉完成签到，获得积分10
2分钟前
某某某发布了新的文献求助10
2分钟前
3分钟前
用眼睛吃饭的人完成签到，获得积分10
3分钟前
深情安青的应助被科研通管家采纳，获得10
3分钟前
3分钟前
某某某发布了新的文献求助10
3分钟前
MAYAN完成签到 ，获得积分10
3分钟前
4分钟前
4分钟前
4分钟前
LZN发布了新的文献求助10
4分钟前
4分钟前
gszy1975完成签到，获得积分10
4分钟前
某某某发布了新的文献求助10
4分钟前
棒棒冰完成签到 ，获得积分10
4分钟前
4分钟前
动听剑心发布了新的文献求助10
4分钟前
5分钟前
5分钟前
高分求助中
Licensing Deals in Pharmaceuticals 2019-2024 3000
Effect of reactor temperature on FCC yield 2000
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 1020
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 800
Mission to Mao: Us Intelligence and the Chinese Communists in World War II 600
The Conscience of the Party: Hu Yaobang, China’s Communist Reformer 600
MATLAB在传热学例题中的应用 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3303270
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2937578
关于积分的说明 8482479
捐赠科研通 2611482
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1425919
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 662457
邀请新用户注册赠送积分活动 647005
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通