Computational analysis of vertical comb-drive microactuator with extended mirror for manipulation of light - 科研通

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标题	Computational analysis of vertical comb-drive microactuator with extended mirror for manipulation of light 用于光操纵的带扩展镜的垂直梳状驱动微致动器的计算分析相关领域多物理微执行器材料科学梳状致动器剪切（物理）光学有限元法反冲微尺度化学参数统计机械工程声学执行机构结构工程工程类物理复合材料电气工程医学统计替代医学数学教育病理量子力学数学制作
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002190
DOI	10.1116/6.0002190 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Varun Sharma; Tapas Ganguli; Rahul Shukla 出版日期：2022-11-17
求助人	轩辕乌在 2024-12-26 10:08:44 发布自陕西，悬赏 10 积分
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