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标题
Thermal annealing effect on material characterizations of β-Ga2O3 epilayer grown by metal organic chemical vapor deposition
热退火对金属有机化学气相沉积β-Ga2O3外延层材料特性的影响
相关领域
材料科学 退火(玻璃) 化学气相沉积 金属有机气相外延 阴极发光 蓝宝石 光电子学 金属 托尔 紫外线 分析化学(期刊) 外延 发光 光学 化学 冶金 激光器 纳米技术 图层(电子) 物理 热力学 色谱法
网址
DOI
10.1063/1.4773247 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Chiung-Yi Huang; Ray‐Hua Horng; Dong‐Sing Wuu; Li-Wei Tu; Hsiang-Shun Kao
出版日期:2013-01-07
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