Multilayer reflective coatings for extreme-ultraviolet lithography

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标题	Multilayer reflective coatings for extreme-ultraviolet lithography 用于极紫外光刻的多层反射涂层相关领域极紫外光刻极端紫外线材料科学平版印刷术光学抵抗光学涂层涂层光电子学下一代光刻图层（电子）纳米技术电子束光刻物理激光器
网址	https://doi.org/10.1117/12.309600
DOI	10.1117/12.309600 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Claude Montcalm; S. Bajt; Paul B. Mirkarimi; Eberhard Spiller; Frank J. Weber; et al 出版日期：1998-06-05
求助人	lpcxly 在 2025-02-23 03:45:21 发布自北京，悬赏 20 积分
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