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标题
Electrochemical investigation of the roles of oxyanions in chemical–mechanical planarization of tantalum and tantalum nitride
氧阴离子在钽和氮化钽化学机械平坦化中作用的电化学研究
相关领域
氮化钽 化学机械平面化 循环伏安法 氧阴离子 无机化学 电化学 化学 钽 介电谱 氧化物 材料科学 化学工程 电极 有机化学 图层（电子） 物理化学 工程类 催化作用
网址
https://doi.org/10.1007/s10800-011-0262-7
DOI
10.1007/s10800-011-0262-7 doi
其它 期刊：Journal of Applied Electrochemistry
作者：C. M. Sulyma; C.M. Pettit; C. Surisetty; S. V. Babu; D. Roy
出版日期：2011-02-26
求助人
Reyn 在 2024-10-12 17:43:43 发布自湖北，悬赏 10 积分
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