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Quantification of substitutional and interstitial carbon in thin SiGeC films using in-line X-ray-photoelectron spectroscopy
在线X射线光电子能谱定量SiGeC薄膜中的取代碳和间隙碳
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期刊:Journal of Materials Chemistry C 作者:Jérémy Vives; S. Verdier; Fabien Deprat; Marvin Frauenrath; Romain Duru; et al 出版日期:2023-01-01 |
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