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 High quality nanogratings far beyond diffraction limits on silicon efficiently fabricated using femtosecond laser dual-beam interference direct writing 利用飞秒激光双光束干涉直写在硅上高效制备远远超出衍射极限的高质量纳米光栅
相关领域
飞秒
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期刊：Optics & Laser Technology 作者：Kang Li; Ruozhong Han; Mengqi Suo; Mingquan Long; Long Chen; et al 出版日期：2024-09-09 |
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