标题 |
Transients using low-high pulsed power in inductively coupled plasmas
电感耦合等离子体中利用低——高脉冲功率的瞬态
相关领域
等离子体
感应耦合等离子体
脉冲功率
功率(物理)
材料科学
等离子体原子发射光谱
化学
原子物理学
物理
核物理学
量子力学
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备注 |
为了方便阅读,需要期刊录用之后正式出版的文章
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DOI | |
其它 |
期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:Chenhui Qu; Sang Ki Nam; Mark J. Kushner 出版日期:2020-08-12 |
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