Study of PZT Thick-film Infrared Detectors prepared by MEMS technology

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标题	Study of PZT Thick-film Infrared Detectors prepared by MEMS technology MEMS技术制备PZT厚膜红外探测器的研究相关领域材料科学热电性陶瓷锆钛酸铅硅微电子机械系统电介质光电子学红外线的复合材料图层（电子）压电红外探测器光学铁电性物理
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.901859
DOI	10.1117/12.901859 doi
求助人	从容的方盒在 2024-11-05 22:16:08 发布自广西，悬赏 20 积分
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