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 Two-dimensional fluid simulation of pulsed-power inductively coupled Ar/H2 discharge 脉冲功率电感耦合Ar/H2放电的二维流体模拟
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期刊：Journal of Physics D 作者：J. Cha; Kwon-Sang Seo; Jeehun Jeong; Hojun Lee 出版日期：2021-02-08 |
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