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The Structural and Electrical Properties of High-K Hf-Sm-O Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition
原子层沉积制备高K Hf-Sm-O薄膜的结构和电学性能
网址
http://dx.doi.org/10.1109/edm58354.2023.10225098
DOI
10.1109/edm58354.2023.10225098
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doi
求助人
Xxiao
在 2025-02-17 16:43:08 发布自
湖南
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