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Optimization of diode pumped solid state ultraviolet laser dicing of silicon carbide chips using design of experiment methodology
利用实验设计方法优化二极管泵浦固体紫外激光切割碳化硅芯片
相关领域
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材料科学
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期刊:Journal of Laser Applications 作者:Guillaume Savriama; Francis Baillet; Laurent Barreau; Chantal Boulmer-Leborgne; Nadjib Semmar 出版日期:2015-05-11 |
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