Low-resistivity molybdenum obtained by atomic layer deposition

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标题	Low-resistivity molybdenum obtained by atomic layer deposition 原子层沉积低电阻率钼相关领域原子层沉积电阻率和电导率材料科学硅分析化学（期刊）氢钼无机化学成核氮化物薄膜图层（电子）化学冶金纳米技术环境化学有机化学电气工程工程类
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002804
DOI	10.1116/6.0002804 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Kees van der Zouw; Bernhard Y. van der Wel; Antonius A. I. Aarnink; R.A.M. Wolters; Dirk J. Gravesteijn; et al 出版日期：2023-08-28
求助人	风趣凡阳在 2024-10-14 10:08:03 发布自云南，悬赏 10 积分
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