Microsphere-assisted Hybrid Spectroscopic Reflectometry Using Hyperspectral Imaging for Nanospot 3D Semiconductor Metrology - 科研通

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标题	Microsphere-assisted Hybrid Spectroscopic Reflectometry Using Hyperspectral Imaging for Nanospot 3D Semiconductor Metrology 基于高光谱成像的微球辅助混合光谱反射法用于纳米点三维半导体计量相关领域反射计高光谱成像计量学材料科学半导体光学吞吐量光电子学遥感计算机科学物理计算机视觉时域地质学电信无线
网址	https://doi.org/10.1364/cleo_at.2023.am2m.4
DOI	10.1364/cleo_at.2023.am2m.4 doi
其它	期刊：作者：Soonyang Kwon; Jangryul Park; Young‐Sun Choi; Kwangrak Kim; Ji-Woong Kim; et al 出版日期：2023-01-01
求助人	rjbqs 在 2024-10-14 16:30:50 发布自广东，悬赏 10 积分
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