Poly-SiOx Passivating Contacts with Plasma-Assisted N2O Oxidation of Silicon (PANO-SiOx)

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标题	Poly-SiOx Passivating Contacts with Plasma-Assisted N2O Oxidation of Silicon (PANO-SiOx) 等离子体辅助N2O氧化硅的聚SiOx钝化触点（PANO-SiOx）相关领域钝化等离子体增强化学气相沉积材料科学退火（玻璃）硅非晶硅化学气相沉积分析化学（期刊）掺杂剂硼兴奋剂无定形固体氧化硅化学工程纳米技术光电子学晶体硅化学冶金图层（电子）氮化硅结晶学有机化学工程类色谱法
网址	http://dx.doi.org/10.1002/solr.202300186
DOI	10.1002/solr.202300186 doi
求助人	沉睡的大马猴在 2024-10-17 11:29:49 发布自江苏，悬赏 10 积分
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