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标题
Novel AlN/ScAlN Composite Film SAW for Achieving Highly Sensitive Temperature Sensors
用于实现高灵敏度温度传感器的新型AlN/ScAlN复合膜SAW
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2024.116079
DOI
10.1016/j.sna.2024.116079 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A: Physical
作者：Yuanhang Qu; Xiang Chen; Yan Liu; Shengxiang Wang; Xiyu Gu; et al
出版日期：2024
求助人
搞怪的幼荷 在 2024-11-20 10:42:32 发布自陕西，悬赏 10 积分
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