标题 |
Understanding the impurity gettering effect of polysilicon/oxide passivating contact structures through experiment and simulation
多晶硅/氧化物钝化接触结构吸杂效应的实验与模拟研究
相关领域
吸气剂
材料科学
薄脆饼
硅
杂质
兴奋剂
等离子体增强化学气相沉积
掺杂剂
制作
化学工程
氧化物
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期刊:Solar Energy Materials and Solar Cells 作者:AnYao Liu; Zhongshu Yang; Frank Feldmann; Jana‐Isabelle Polzin; Bernd Steinhauser; et al 出版日期:2021-09-01 |
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