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Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio frequency Ar/O2 inductively coupled plasma
脉冲调制无线电频率An/O2感应耦合等离子体中电子碰撞激发行为的实验研究
相关领域
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Chan Xue; Fei Gao; De‐Qi Wen; You‐Nian Wang 出版日期:2019-01-11 |
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