Room temperature magnetron sputtering and laser annealing of ultrathin amorphous sulfur-rich MoSx films

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标题	Room temperature magnetron sputtering and laser annealing of ultrathin amorphous sulfur-rich MoSx films 超薄非晶富硫MoSx薄膜的室温磁控溅射及激光退火相关领域材料科学无定形固体溅射沉积退火（玻璃） X射线光电子能谱薄膜溅射微晶分析化学（期刊）化学工程光电子学冶金纳米技术结晶学化学色谱法工程类
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002544
DOI	10.1116/6.0002544 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Spencer Gellerup; Corey L. Arnold; Christopher Muratore; Nicholas R. Glavin; Nigel D. Shepherd; et al 出版日期：2023-07-11
求助人	sucker 在 2024-09-24 09:26:11 发布自山西，悬赏 10 积分
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