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 Investigation of electrical performance and operation stability of RF-sputtered InSnZnO thin film transistors by oxygen-ambient rapid thermal annealing 氧环境快速退火射频溅射InSnZnO薄膜晶体管的电学性能和工作稳定性研究
相关领域
薄膜晶体管
材料科学
阈值电压
无定形固体
薄膜
退火（玻璃）
溅射
光电子学
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氧气
分析化学（期刊）
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Seohyun Maeng; Hyun‐Jin Kim; Gisang Choi; Youngjoon Choi; Saeroonter Oh; et al 出版日期：2020-10-23 |
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