Micro-structure Transformation of Silicon: A Newly Developed Transformation Technology for Patterning Silicon Surfaces using the Surface Migration of Silicon Atoms by Hydrogen Annealing

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标题	Micro-structure Transformation of Silicon: A Newly Developed Transformation Technology for Patterning Silicon Surfaces using the Surface Migration of Silicon Atoms by Hydrogen Annealing 硅的微结构转变：一种利用氢退火硅原子表面迁移进行硅表面图案化的新型转变技术相关领域硅材料科学退火（玻璃）制作压扁纳米技术光电子学应变硅晶体硅复合材料非晶硅医学病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.39.5033
DOI	10.1143/jjap.39.5033 doi
其它	期刊：Japanese journal of applied physics 作者：Tsutomu Sato; Kunihiro Mitsutake; Ichiro Mizushima; Y. Tsunashima 出版日期：2000-09-01
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