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Phase defect characterization using generative adversarial networks for extreme ultraviolet lithography
极紫外光刻相缺陷的生成对抗网络表征
相关领域
极紫外光刻
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光学
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期刊:Applied Optics 作者:Haixue Zheng; Sikun Li; Wei Cheng; Shuai Yuan; Xiangzhao Wang 出版日期:2023-02-06 |
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