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标题
Phase defect characterization using generative adversarial networks for extreme ultraviolet lithography
极紫外光刻相缺陷的生成对抗网络表征
相关领域
极紫外光刻 极端紫外线 平版印刷术 光学 表征(材料科学) 材料科学 补偿(心理学) 相(物质) 计算机科学 物理 激光器 心理学 量子力学 精神分析
网址
DOI
10.1364/ao.480356 doi
其它 期刊:Applied Optics
作者:Haixue Zheng; Sikun Li; Wei Cheng; Shuai Yuan; Xiangzhao Wang
出版日期:2023-02-06
求助人
GYY 在 2024-07-05 09:10:46 发布自陕西,悬赏 10 积分
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