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 A balance between diffraction efficiency and process robustness for plasmonic lithographic alignment technology considering Fabry-Perot resonator effect 相关领域
光学
谐振器
法布里-珀罗干涉仪
等离子体子
材料科学
衍射
平版印刷术
表面等离子体子
光电子学
波长
物理
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| 其它 |
期刊：Applied Optics 作者：Zhen Song; Libin Zhang; Shang Yang; Yajuan Su; Yayi Wei; et al 出版日期：2023-04-25 |
| 求助人 | |
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