| 标题 |
Optical fibre aligner using deep-etched silicon electrothermal actuator
采用深蚀硅电热驱动器的光纤对准器
相关领域
材料科学
深反应离子刻蚀
光衰减器
光纤
执行机构
微电子机械系统
光电子学
衰减器（电子）
微执行器
衰减
硅
蚀刻（微加工）
绝缘体上的硅
光学
反应离子刻蚀
复合材料
纤维
光纤传感器
电气工程
物理
图层（电子）
工程类
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期刊： 作者：R.R.A. Syms; Huiming Zou; J. P. Stagg; Jun Yao; Deepak Uttamchandani 出版日期：2004-08-01 |
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