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 Anisotropic Etching of Crystalline Silicon in Alkaline Solutions: I . Orientation Dependence and Behavior of Passivation Layers 单晶硅在碱性溶液中的各向异性刻蚀钝化层的取向依赖性和行为
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：H. Seidel; L. Csepregi; A. Heuberger; H. Baumgärtel 出版日期：1990-11-01 |
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