Carbon nanotube pellicles: imaging results of the first full-field extreme ultraviolet exposures - 科研通

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标题	Carbon nanotube pellicles: imaging results of the first full-field extreme ultraviolet exposures 碳纳米管薄膜：首次全场极紫外曝光的成像结果相关领域极紫外光刻极端紫外线扫描仪碳纳米管材料科学光学耐久性平版印刷术薄脆饼纳米技术光电子学物理复合材料激光器
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.20.2.021005
DOI	10.1117/1.jmm.20.2.021005 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology 作者：Joost Bekaert; Emily Gallagher; R. Jonckheere; Lieve Van Look; Remko Aubert; et al 出版日期：2021-05-27
求助人	surplus 在 2025-03-11 13:34:04 发布自浙江，悬赏 30 积分
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