A novel MEMS gas sensor based on ultrasonic resonance cavity

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标题	A novel MEMS gas sensor based on ultrasonic resonance cavity 一种基于超声谐振腔的新型MEMS气体传感器相关领域超声波传感器电容感应共振（粒子物理）甲烷微电子机械系统传感器二氧化碳传感器材料科学声学计算机科学二氧化碳分析化学（期刊）电气工程光电子学物理化学工程类有机化学粒子物理学
网址	https://doi.org/10.1109/ultsym.2014.0161
DOI	10.1109/ultsym.2014.0161 doi
其它	期刊：IEEE International Ultrasonics Symposium 作者：P. J. Koppinen; Teuvo Sillanpää; Ari Kärkkäinen; Jaakko Saarilahti; Heikki Seppä 出版日期：2014-09-01
求助人	赛猪在 2025-04-05 17:17:30 发布自四川，悬赏 10 积分
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