Additive full-wafer fabrication of all-inorganic metalenses, waveguides, and diffractive optics for visible and IR applications via direct nanoimprint lithography

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标题	Additive full-wafer fabrication of all-inorganic metalenses, waveguides, and diffractive optics for visible and IR applications via direct nanoimprint lithography 通过直接纳米压印光刻用于可见光和红外应用的全无机金属透镜、波导和衍射光学器件的增材全晶片制造相关领域纳米压印光刻制作薄脆饼材料科学光电子学平版印刷术光学纳米光刻光学材料光刻物理医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1117/12.3042476
DOI	10.1117/12.3042476 doi
其它	期刊：作者：Dae Eon Jung; Vincent J. Einck; Babak Mirzapourbeinekalaye; Alex Dawicki; Lucas D. Verrastro; et al 出版日期：2025-01-23
求助人	MADKAI 在 2025-04-24 11:05:15 发布自匈牙利，悬赏 20 积分
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