Structure and optical properties of HfO2 thin films on silicon after rapid thermal annealing

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标题	Structure and optical properties of HfO2 thin films on silicon after rapid thermal annealing 快速热退火后硅基HfO2薄膜的结构和光学性质相关领域材料科学薄膜无定形固体拉曼光谱折射率分析化学（期刊）退火（玻璃）电介质椭圆偏振法溅射沉积拉曼散射摩尔吸收率溅射光学光电子学结晶学化学纳米技术复合材料物理色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.optmat.2009.10.003
DOI	10.1016/j.optmat.2009.10.003 doi
其它	期刊：Optical Materials 作者：Tingting Tan; Zheng‐Tang Liu; Hongcheng Lu; Wenting Liu; Hao Tian 出版日期：2009-11-12
求助人	三水台在 2025-03-11 19:46:26 发布自福建，悬赏 10 积分
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