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标题
A Transmission X-ray Microscope (TXM) for Non-destructive 3D Imaging of ICs at Sub-100 nm Resolution
用于IC以亚100纳米分辨率进行无损3D成像的传输X射线显微镜（TXM）
相关领域
材料科学 堆栈（抽象数据类型） 分辨率（逻辑） 聚焦离子束 光学 集成电路 显微镜 透射电子显微镜 图像分辨率 硅 基质（水族馆） 扫描电子显微镜 显微镜 光电子学 纳米技术 计算机科学 离子 物理 地质学 人工智能 复合材料 海洋学 程序设计语言 量子力学
网址
https://doi.org/10.31399/asm.cp.istfa2002p0227
DOI
10.31399/asm.cp.istfa2002p0227 doi
其它 期刊：Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis
作者：Steve Wang; Frederick Duewer; S. Kamath; Christopher V. Kelly; Alan Lyon; et al
出版日期：2002-10-01
求助人
马小东 在 2025-03-21 14:41:00 发布自英国，悬赏 10 积分
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1#52 小透明
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总排名
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