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标题
Growth of stable SiC2N2-Si2CN4 phases during nitrogen incorporated sputter deposition of silicon carbide
氮气溅射沉积碳化硅过程中稳定SiC2N2-Si2CN4相的生长
相关领域
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网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S266702242...
AI链接 doi.orgdoi.org
DOI
10.1016/j.chphi.2023.100454 doi
其它 期刊：Chemical Physics Impact
作者：A.S. Bhattacharyya
出版日期：2024-01-01
求助人
可爱的铅笔 在 2025-01-23 14:41:15 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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