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Growth mode modulation and crystalline quality improvement of highly relaxed n-Al0.6Ga0.4N on high-temperature-annealing AlN/sapphire template via SiH4-pretreatment
SiH4预处理对高温退火AlN/蓝宝石模板上高弛豫n-Al0.6Ga0.4N生长模式调制和晶体质量改善的研究
相关领域
蓝宝石
材料科学
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渗氮
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金属有机气相外延
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物理
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Dadi Wang; Zhibin Liu; Yanan Guo; Jianchang Yan; Jinmin Li; et al 出版日期:2023-02-21 |
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