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Surface studies of carbon films from pyrolyzed photoresist
热解光刻胶碳膜的表面研究
相关领域
光刻胶
热解
碳纤维
材料科学
纳米技术
化学工程
碳膜
薄膜
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复合材料
化学
工程类
复合数
图层(电子)
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期刊:Thin Solid Films 作者:Robert Kostecki; B. Schnyder; Dario Alliata; Xiangyun Song; K. Kinoshita; et al 出版日期:2001-09-01 |
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