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State-of-the-art and prospective progress of growing AlN substrates by physical vapor transport
物理气相传输法生长AlN衬底的研究现状与展望
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Xiaogang Yao; Baoguo Zhang; Haixiao Hu; Yong Wang; Zhen Kong; et al 出版日期:2023-05-23 |
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