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 Numerical and experimental study of ion energy distribution function in a dual-frequency capacitively coupled oxygen discharge 双频电容耦合氧放电中离子能量分布函数的数值与实验研究
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Han Luo; Jason Kenney; Shahid Rauf; Ihor Korolov; Julian Schulze 出版日期：2023-11-01 |
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