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标题
Nanoimprint lithography for nanodevice fabrication
用于纳米器件制造的纳米压印光刻
相关领域
纳米压印光刻 纳米器件 纳米技术 制作 下一代光刻 平版印刷术 材料科学 多重图案 离子束光刻 纳米光刻 抵抗 纳米尺度 模版印刷 X射线光刻 电子束光刻 光电子学 医学 替代医学 病理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1186/s40580-016-0081-y
DOI
10.1186/s40580-016-0081-y doi
其它 期刊：Nano Convergence
作者：Steven Barcelo; Zhiyong Li
出版日期：2016-08-26
求助人
陈皮糖不酸 在 2025-01-16 09:44:49 发布自吉林，悬赏 10 积分
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