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标题
From Smart-Cut to Soft-Cut: Mechanisms of Hydrogen Plasma Supported Layer Exfoliation in Silicon
从智能切割到软切割:硅中氢等离子体支撑层剥离的机理
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网址
DOI
10.1149/1.2355776 doi
求助人
邱清 在 2024-12-23 11:18:49 发布自辽宁,悬赏 10 积分
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