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标题
[高分] Fluid Simulation of the Plasma Characteristics in an Inductively Coupled Plasma Source with Planar and Cylindrical Coils
平面和圆柱线圈电感耦合等离子体源中等离子体特性的流体模拟
相关领域
感应耦合等离子体 等离子体 平面的 流体模拟 材料科学 等离子体参数 原子物理学 物理 机械 计算机科学 核物理学 计算机图形学(图像)
网址
DOI
10.1134/s1063780x22601092 doi
其它 期刊:Plasma Physics Reports
作者:Xiao‐Yan Sun; Min Yang; Song Chai; Hui Li
出版日期:2023-04-01
求助人
tangtang 在 2025-02-27 17:11:08 发布自辽宁,悬赏 50 积分
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