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 GAS-JET SYNTHESIS OF DIAMOND COATINGS ON SILICON SUBSTRATES FROM AN H2 + CH4 + Ar MIXTURE ACTIVATED IN A MICROWAVE DISCHARGE 微波活化H_2+CH_4+Ar混合气在硅衬底上的气射流合成金刚石涂层
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期刊：Journal of Applied Mechanics and Technical Physics 作者：A. A. Emel’yanov; M. Yu. Plotnilkov; Н. И. Тимошенко; I. B. Yudin 出版日期：2023-10-01 |
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