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 Effect of growth pressure on sulfur content of RF-magnetron sputtered WS2 films and thermal oxidation properties of them toward using Pd decorated WO3 based H2 gas sensor 生长压力对射频磁控溅射WS2薄膜硫含量及热氧化性能的影响
相关领域
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期刊：Sensors and Actuators B-chemical 作者：Soheil Mobtakeri; Saman Habashyani; Omer Coban; Hasan Feyzi Budak; Ahmet Emre Kasapoğlu; et al 出版日期：2023-04-01 |
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