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Virtual reactor as a new tool for modeling and optimization of SiC bulk crystal growth
虚拟反应器模拟和优化SiC块体晶体生长的新工具
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:М. В. Богданов; A.O. Galyukov; S. Yu. Karpov; A.V. Kulik; S.K. Kochuguev; et al 出版日期:2001-05-01 |
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