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High threshold voltage enhancement-mode GaN p-FET with Si-rich LPCVD SiN x gate insulator for high hole mobility
高阈值电压增强模式GaN p-FET高空穴迁移率的富Si LPCVD SiN x栅绝缘体
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期刊:Journal of Semiconductors 作者:Liyang Zhu; Kuangli Chen; Ying Ma; Yong Cai; Chunhua Zhou; et al 出版日期:2023-08-01 |
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