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Temperature Characteristics of 4H-SiC Substrate and Thin-Film Resistor Applied in MEMS Piezoresistive Sensors
4H-SiC衬底和薄膜电阻在MEMS压阻传感器中的温度特性
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期刊:IEEE Sensors Journal 作者:Yanxin Zhai; Tiantong Xu; Guoqiang Xu; Xiaoda Cao; Zhi Tao; et al 出版日期:2023-12-15 |
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