Effect of Process Parameters on Friction Force and Material Removal in Oxide Chemical Mechanical Polishing

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标题	Effect of Process Parameters on Friction Force and Material Removal in Oxide Chemical Mechanical Polishing 氧化物化学机械抛光工艺参数对摩擦力和材料去除的影响相关领域化学机械平面化磨料泥浆抛光薄脆饼材料科学氧化物复合材料表面光洁度相对速度表面粗糙度冶金纳米技术物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1143/jjap.47.8771
DOI	10.1143/jjap.47.8771 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Boumyoung Park; Hyunseop Lee; Young-Jin Kim; Hyoungjae Kim; Haedo Jeong 出版日期：2008-12-19
求助人	羊yang 在 2024-09-06 16:41:38 发布自湖北，悬赏 10 积分
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