Rapid Planarization Method by Ultraviolet Light Irradiation for Gallium Nitride Using Platinum Catalyst

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标题	Rapid Planarization Method by Ultraviolet Light Irradiation for Gallium Nitride Using Platinum Catalyst 铂催化剂紫外光照射快速平坦化氮化镓相关领域化学机械平面化材料科学辐照铂金催化作用蚀刻（微加工）紫外线氮化镓镓紫外线光降解光催化光化学光电子学无机化学纳米技术图层（电子）化学冶金有机化学核物理学物理
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.46
DOI	10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.46 doi
其它	期刊：Key engineering materials 作者：Hiroya Asano; Shun Sadakuni; Kazuichi Yagi; Yasuhisa Sano; Satoshi Matsuyama; et al 出版日期：2012-11-01
求助人	lry 在 2024-04-16 17:06:40 发布自山东，悬赏 30 积分
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