Investigation of the crystalline quality of a gallium oxide thick film grown by RF magnetron sputtering

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标题	Investigation of the crystalline quality of a gallium oxide thick film grown by RF magnetron sputtering 射频磁控溅射氧化镓厚膜晶体质量的研究相关领域镓氧化镓材料科学带隙溅射沉积退火（玻璃）溅射氧化物光电子学薄膜分析化学（期刊）冶金纳米技术化学色谱法
网址	https://doi.org/10.1002/pssc.201300242
DOI	10.1002/pssc.201300242 doi
其它	期刊：Physica status solidi. C, Conferences and critical reviews/Physica status solidi. C, Current topics in solid state physics 作者：Kazuya Ishibashi; Ryohei Aida; Motoki Takahara; Jyun Kudo; Isao Tsunoda; et al 出版日期：2013-10-07
求助人	小舒在 2024-08-24 11:46:16 发布自河南，悬赏 10 积分
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